Resist compositions with polymers having pendant groups containing plural acid labile moieties

WO02088077 Art A2 7. November 2002

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02088077
Aktenzeichen: EP02734031
Anmeldetag: 22. April 2002
Veröffentlichung: 7. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C07D201/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Organische Chemie

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