System and method for scheduling the movement of wafers in a wafer-processing tool

WO02088859 Art A2 7. November 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02088859
Aktenzeichen: EP02766802
Anmeldetag: 26. April 2002
Veröffentlichung: 7. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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