Remote maintenance system and remote maintenance method for semiconductor manufacturing apparatus

WO02089189 Art A1 7. November 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Fujitsu AMD Semiconductor Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02089189
Aktenzeichen: EP02722847
Anmeldetag: 26. April 2002
Veröffentlichung: 7. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Fujitsu AMD Semiconductor Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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