Micromachining with high-energy, intra-cavity q-switched co 2? laser pulses

WO02090037 Art A1 14. November 2002

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02090037
Aktenzeichen: EP02769400
Anmeldetag: 9. Mai 2002
Veröffentlichung: 14. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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