Method for depositing a coating having a relatively high dielectric constant onto a substrate

WO02090614 Art A1 14. November 2002

Anmelder: Mattson Technology Inc., The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02090614
Aktenzeichen: EP02733864
Anmeldetag: 19. März 2002
Veröffentlichung: 14. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/26B05D5/12H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mattson Technology Inc.
The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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