Fabrication of a microelectromechanical system (mems) device cross-reference to related applications

WO02091439 Art A1 14. November 2002

Anmelder: Rockwell Automation Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02091439
Aktenzeichen: EP02723178
Anmeldetag: 20. Februar 2002
Veröffentlichung: 14. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Rockwell Automation Technologies, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Rockwell Automation

US-amerikanisches Unternehmen, das Industrieautomatisierung entwickelt, darunter Steuerungssysteme, Software und Antriebstechnik für Fertigungsbetriebe.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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