Optical characteristic measuring method, exposure method, and device manufacturing method

WO02091440 Art A1 14. November 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02091440
Aktenzeichen: EP02724702
Anmeldetag: 7. Mai 2002
Veröffentlichung: 14. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G01J1/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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