Selective deposition of materials for the fabrication of interconnects and contacts on semiconductors devices

WO02092242 Art A1 21. November 2002

Anmelder: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02092242
Aktenzeichen: EP02769755
Anmeldetag: 16. Mai 2002
Veröffentlichung: 21. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B05D3/00B05D1/36B05D7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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