Light source device and light irradiation device, and device manufacturing method

WO02095486 Art A1 28. November 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02095486
Aktenzeichen: EP02726446
Anmeldetag: 20. Mai 2002
Veröffentlichung: 28. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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