Siliciumsubnitrid, ein Verfahren zu dessen Herstellng und die Verwendung des Subnitrids

WO02096799 Art A2 5. Dezember 2002

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02096799
Aktenzeichen: EP02750978
Anmeldetag: 24. Mai 2002
Veröffentlichung: 5. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C01B21/068C23C14/06C23C16/34C30B1/00H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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