Plasma treatment container internal member, and plasma treatment device having the plasma treatment container internal member

WO02097154 Art A1 5. Dezember 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02097154
Aktenzeichen: EP02728083
Anmeldetag: 17. Mai 2002
Veröffentlichung: 5. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23C4/02C23C26/00H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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