Ceramic heater for semiconductor producing and inspecting device and hot plate unit using the ceramic heater

WO02099855 Art A1 12. Dezember 2002

Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02099855
Aktenzeichen: EP01934471
Anmeldetag: 31. Mai 2001
Veröffentlichung: 12. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/68H05B3/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: IBIDEN CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ibiden

Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.

904 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von