Oxidation Of Silicon Nitride Films in Semiconductor Devices

WO02099866 Art A2 12. Dezember 2002

Anmelder: International Business Machines Corporation, International Business Machines 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02099866
Aktenzeichen: EP02754738
Anmeldetag: 4. Juni 2002
Veröffentlichung: 12. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: International Business Machines Corporation
International Business Machines
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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