Niedrigtemperaturbindung von einem Strukturiertem Plättchen mit Lichtempfindlichem Benzocyclobuten (bcb) und Herstellung von 3-Dimensionellen Mikroelektromechanischen Anordnungen

WO02100771 Art A2 19. Dezember 2002

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02100771
Aktenzeichen
EP02734689
Anmeldetag
5. Juni 2002
Veröffentlichung
19. Dezember 2002
Rechtsraum
WO
IPC
B81C1/00B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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