Apparatus and method for determining clamping status of semiconductor wafer

WO02101377 Art A1 19. Dezember 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101377
Aktenzeichen: EP02746357
Anmeldetag: 9. Mai 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01N29/00G01H5/00H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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