Patterning compositions using e-beam lithography and structures and devices made thereby

WO02101463 Art A1 19. Dezember 2002

Anmelder: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101463
Aktenzeichen: EP02734750
Anmeldetag: 7. Juni 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03C5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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