Methode und Apparat zur Ausrichtung eines Systems zur Automatisierten Werkstückmanipulation

WO02101792 Art A2 19. Dezember 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101792
Aktenzeichen: EP02746502
Anmeldetag: 11. Juni 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00B23Q3/15B23B31/20B23B31/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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