Megaschallreinigungs- und Trocknungsvorrichtung

WO02101797 Art A2 19. Dezember 2002

Anmelder: Verteq Inc., IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101797
Aktenzeichen: EP02744322
Anmeldetag: 12. Juni 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Verteq Inc.
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC)
Land: 🇺🇸 USA

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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