Semiconductor manufacturing method and apparatus

WO02101800 Art A1 19. Dezember 2002

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101800
Aktenzeichen: EP02778904
Anmeldetag: 14. Mai 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02B03C3/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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