Device ande method for predicting circuit pattern transfer characteristics and device and method for providing exposure system performance information and information outputting system and information outputting method

WO02101801 Art A1 19. Dezember 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101801
Aktenzeichen: EP02724722
Anmeldetag: 8. Mai 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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