Method and apparatus for adjusting the resonance frequency of a microelectromechanical (mems) resonator using tensile strain and applications thereof

WO02101924 Art A1 19. Dezember 2002

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02101924
Aktenzeichen: EP02778931
Anmeldetag: 24. Mai 2002
Veröffentlichung: 19. Dezember 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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