Metal-Assisted Chemical Etch To Produce Porous Group Iii-V Materials
WO02103752
Art A2
27. Dezember 2002
Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02103752
- Aktenzeichen
- EP01274141
- Anmeldetag
- 20. November 2001
- Veröffentlichung
- 27. Dezember 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3063
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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Fachgebiete
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