Ätzmittel und Ätzverfahren mit Überwachung der Hf-Konzentration des Ätzmittels in Beol-Reiningung

WO0210480 Art A2 7. Februar 2002

Anmelder: Infineon Technologies North America 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0210480
Aktenzeichen: EP01961798
Anmeldetag: 30. Juli 2001
Veröffentlichung: 7. Februar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23G1/00H01L21/3213G01N1/00C09K13/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies North America
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Infineon Technologies North America

Infineon Technologies North America ist die US-amerikanische Tochtergesellschaft des deutschen Halbleiterkonzerns Infineon Technologies. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeicherung und Schaltungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2015.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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