Pull-Up Chamber
WO0210651
Art A1
7. Februar 2002
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0210651
- Aktenzeichen
- EP01984439
- Anmeldetag
- 26. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 7. Februar 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F24F7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
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