Elektronenstrahl-Lithographievorrichtung unter Verwendung einer mit einem Löchermuster Versehenen Photokathode zur Erzeugung einer Transmissionsresonanz

WO0215223 Art A1 21. Februar 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0215223
Aktenzeichen: EP01964099
Anmeldetag: 15. August 2001
Veröffentlichung: 21. Februar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H01J1/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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