Sion Barriereschichten für Mis Tanox - Stapelkondensatoren mit Geringem Thermischem Gehalt

WO0217337 Art A2 28. Februar 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0217337
Aktenzeichen
EP01964444
Anmeldetag
23. August 2001
Veröffentlichung
28. Februar 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/28H01L21/02H01L21/314
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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