Methode und System zur Temperaturkontrolle eines Elektrostatischen Scheibenhalters

WO0217384 Art A1 28. Februar 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0217384
Aktenzeichen: EP01973658
Anmeldetag: 21. August 2001
Veröffentlichung: 28. Februar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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