Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

WO0219387 Art A2 7. März 2002

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0219387
Aktenzeichen: EP01966121
Anmeldetag: 23. August 2001
Veröffentlichung: 7. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B01L1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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