Epitaxietemplat und Barriere für die Integration von Funktionalen Dünnfilmheterostrukturen auf Silizium

WO0219389 Art A2 7. März 2002

Anmelder: University of Maryland, THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0219389
Aktenzeichen
EP01968300
Anmeldetag
30. August 2001
Veröffentlichung
7. März 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
University of Maryland
THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Penn State Research Foundation

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