Ion-ion plasma processing with bias modulation sychronized to time-modulated discharges

WO0219395 Art A1 7. März 2002

Anmelder: THE BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0219395
Aktenzeichen: EP01968086
Anmeldetag: 23. August 2001
Veröffentlichung: 7. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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