Verfahren zum Polieren einer Speicher- oder Festplatte mit einer Zusammensetzung, Welche einen Oxidierten Halid und eine Aminosäure Enthält

WO0220214 Art A2 14. März 2002

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0220214
Aktenzeichen: EP01966363
Anmeldetag: 29. August 2001
Veröffentlichung: 14. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B24B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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