Verfahren zur Initialisierung eines Kupfer Cmp-Prozesses

WO0220682 Art A2 14. März 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0220682
Aktenzeichen: EP01966197
Anmeldetag: 24. August 2001
Veröffentlichung: 14. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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