Object lens system, observing device equipped with the object lens system, and exposure system equipped with the observing device

WO0221187 Art A1 14. März 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0221187
Aktenzeichen: EP01963453
Anmeldetag: 5. September 2001
Veröffentlichung: 14. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/24H01L21/027G03F9/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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