Modular exposure apparatus with removable optical device and improved isolation of the optical device

WO0221207 Art A2 14. März 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0221207
Aktenzeichen: EP01968578
Anmeldetag: 7. September 2001
Veröffentlichung: 14. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03B27/42G03B27/54G03B27/58G03B27/32A61N5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik

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