Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device

WO0221587 Art A1 14. März 2002

Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi ULSI Systems Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0221587
Aktenzeichen
EP01941220
Anmeldetag
25. Juni 2001
Veröffentlichung
14. März 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Hitachi, Ltd.
Hitachi ULSI Systems Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

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