Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung eines Halbleiterherstellungsprozesses

WO0223583 Art A2 21. März 2002

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0223583
Aktenzeichen: EP01968748
Anmeldetag: 10. September 2001
Veröffentlichung: 21. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/304H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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