Verfahren und Vorrichtung zur Leckagendetektion in einer Plasma-Ätzkammer

WO0223585 Art A2 21. März 2002

Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0223585
Aktenzeichen: EP01965248
Anmeldetag: 3. September 2001
Veröffentlichung: 21. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Philips

Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

45.068 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von