Wolframkammer mit Stationärer Heizungsvorrichtung

WO0223587 Art A2 21. März 2002

Anmelder: Applied Materials 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0223587
Aktenzeichen
EP01970895
Anmeldetag
12. September 2001
Veröffentlichung
21. März 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Applied Materials
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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