Ceramic heater for semiconductor manufacturing and inspecting equipment

WO0223600 Art A1 21. März 2002

Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0223600
Aktenzeichen: EP01961190
Anmeldetag: 30. August 2001
Veröffentlichung: 21. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/28H05B3/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IBIDEN CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ibiden

Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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