Poliervorrichtung mit einer Elektromagnetischen Einstellungskontrolle für den Polierscheibenträger

WO0224409 Art A1 28. März 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0224409
Aktenzeichen
EP01932264
Anmeldetag
25. Mai 2001
Veröffentlichung
28. März 2002
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/04B24B49/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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