Photosensitive element, method for forming resist pattern, and method for manufacturing printed wiring board

WO0225377 Art A1 28. März 2002

Anmelder: Hitachi Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0225377
Aktenzeichen
EP01967754
Anmeldetag
20. September 2001
Veröffentlichung
28. März 2002
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03F7/028G03F7/09B32B27/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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