Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung von Zerstäubungs- und Niederschlagseffekten in einem Plasmaimmersions-Implantierungsgerät

WO0225694 Art A2 28. März 2002

Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0225694
Aktenzeichen: EP01960940
Anmeldetag: 23. August 2001
Veröffentlichung: 28. März 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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