Manufacturing apparatus, method and system for controlling manufacturing apparatus, and computer-readable medium storing control program for manufacturing apparatus

WO0227769 Art A1 4. April 2002

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0227769
Aktenzeichen: EP00962946
Anmeldetag: 28. September 2000
Veröffentlichung: 4. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G06F11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Toshiba
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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