Gas laser chamber with vertical vibration isolator

WO0229308 Art A1 11. April 2002

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0229308
Aktenzeichen: EP01970571
Anmeldetag: 24. August 2001
Veröffentlichung: 11. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: F16M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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