Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Eingebetteten Substrates und des Zustandes eines Systems

WO0229384 Art A2 11. April 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0229384
Aktenzeichen: EP01981372
Anmeldetag: 4. Oktober 2001
Veröffentlichung: 11. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95H01L21/66G01B11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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