Device and method for manufacturing semiconductor

WO0229864 Art A1 11. April 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TAISEI CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0229864
Aktenzeichen: EP01974695
Anmeldetag: 4. Oktober 2001
Veröffentlichung: 11. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/027F24F7/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TAISEI CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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