Ruthenium film and ruthenium oxide film, and method for formation thereof

WO0232839 Art A1 25. April 2002

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0232839
Aktenzeichen: EP01976693
Anmeldetag: 16. Oktober 2001
Veröffentlichung: 25. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C07C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Organische Chemie

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