Verfahren zum Polieren einer Speicher- oder Festplatte mit einer Zusammensetzung, Welche einen Halid Und/oder Ammoniak Enthält

WO0233014 Art A1 25. April 2002

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0233014
Aktenzeichen: EP01973742
Anmeldetag: 20. September 2001
Veröffentlichung: 25. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/321G11B5/84C23F3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von