Reinigungsverfahren nach der Ätzung eines Dielektrikums für Kupfer

WO0233742 Art A1 25. April 2002

Anmelder: Atofina 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0233742
Aktenzeichen: EP01976396
Anmeldetag: 11. Oktober 2001
Veröffentlichung: 25. April 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213H01L21/311G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atofina
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Atofina

Atofina war ein französisches Chemieunternehmen, das aus der Fusion von Elf Atochem, Total und Fina hervorging und später in Arkema aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie organische Chemie, ergänzt durch Farben und Verfahrenstechnik im Bereich Fluorpolymere. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2004.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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