Vorrichtung und Verfahren zum Filtern von Geladenen Teilchen und Vorrichtung und Verfahren zur Ionenimplantation

WO0233764 Art A2 25. April 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0233764
Aktenzeichen
EP01987953
Anmeldetag
16. Oktober 2001
Veröffentlichung
25. April 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01M2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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